专利名称：一种快速成像系统以及透射电子显微镜

本实用新型公开了一种快速成像系统以及透射电子显微镜，成像系统包括沿Z轴方向依次同轴布设的发射单元、磁透镜、静电偏转器以及成像单元；所述发射单元用于发射电子；所述磁透镜用于将入射的电子束以平行光束的形式出射；所述静电偏转器包括多对相互平行的偏转板，所有所述偏转板组合形成供平行光束穿过的通道，且每个所述偏转板连接有单独用于驱动所述偏转板的驱动电路，用于在XY方向上改变通过所述通道的电子束的离轴距离；所述成像单元正对所述通道，用于观察经所述通道出射的电子束斑的位置。本实用新型可以提升透射电子显微镜的成像能力，在保持空间分辨率不变的情况下提升了时间分辨率。