专利名称：一种球差校正器系统以及扫描电子显微镜

本实用新型公开了一种球差校正器系统以及扫描电子显微镜，其中球差校正器系统包括沿光轴方向依次布设的第一透镜、传递透镜以及第二透镜；所述传递透镜包括至少一对同极性相对放置的永磁体，用于沿光轴方向产生磁场方向相反的轴向磁场；电子束平行于光轴经过所述第一透镜后到达所述传递透镜，电子束在所述轴向磁场中发生多次偏转后通过所述第二透镜射出。本实用新型将强永磁体的传递透镜应用在六极球差校正器系统中，替代常规的使用磁线圈的传递透镜，极大程度上减小了传递透镜的体积，进一步可用于小型化扫描电子显微镜。